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恒溫氮氣柜使用注意事項

一、供氣與氮氣安全

氣源要求

使用高純氮氣（建議≥99.99%），禁止壓縮空氣直接接入；供氣壓力控制在0.04～0.08MPa，壓力過高易沖壞密封、過低除濕 / 降氧效率不足。 

管路檢查

進氣軟管、接頭定期檢漏（肥皂水測漏），杜絕氮氣泄漏；氮氣無色無味，密閉空間大量泄漏會造成缺氧窒息，車間保持通風。 

閥門規(guī)范

開機順序：打開氣源→啟動設備；停機：先關閉進氣閥，再關機。長期不用切斷氮氣氣源。 

二、溫濕度、氧濃度參數設置

嚴禁超范圍設定，參照設備額定區(qū)間： 溫度：多數機型 15～40℃，不要設置接近上下極限，避免加熱模塊持續(xù)滿載； 

濕度：常用 5%～40% RH，存放晶圓、PCB、IC、光學元件一般控制 5%～10% RH； 

氧含量：有氧量監(jiān)測機型可按需設定，一般≤1000ppm。 

溫濕穩(wěn)定需要時間，不要頻繁修改參數；開門后濕度 / 氧含量回升屬于正?，F象，減少頻繁開門。 

三、裝載與柜體操作

物品要求

工件表面無積水、油污、清洗劑殘留，濕工件直接放入會大幅增加氮氣消耗，還易滋生霉菌、腐蝕傳感器。 

擺放規(guī)范

物料不能緊貼背部風道、溫濕度傳感器、循環(huán)風口，預留氣流通道；不要堆疊堵塞循環(huán)風，造成內部溫濕度不均。 

開門管控

盡量縮短開門時長；批量取放規(guī)劃好流程。部分機型帶有開門延時充氣功能，確認功能正常。 

禁止：超載堆放、撞擊玻璃門、倚靠柜門，避免密封條變形漏氣。 

四、電氣與溫控安全

供電：使用獨立穩(wěn)定插座，做好接地，避免與大功率加熱設備共用回路，防止電壓波動影響溫控模塊。 

高溫警示

內部加熱組件工作時，不要徒手觸碰風道內部；柜內禁止存放易燃、易揮發(fā)溶劑（酒精、丙酮等），揮發(fā)氣體遇高溫存在隱患。 

散熱

柜體四周預留≥10cm 散熱空間，不要緊貼墻面、包裹柜體，防止溫控過熱報警。 

五、日常維護與傳感器

密封條

定期清潔門框硅膠密封條，清除粉塵碎屑；出現硬化、破損及時更換，漏氣會導致氮氣持續(xù)消耗、濕度降不下去。 

傳感器維護

溫濕度、氧傳感器避免粉塵覆蓋；不要用液體直接沖洗傳感器探頭，必要時用干燥無塵布輕擦。 

排水 / 除塵

帶有冷凝除濕模塊機型，定期檢查排水管路通暢；濾網按周期清理粉塵，保證風道循環(huán)。 

記錄巡檢

定時查看溫度、濕度、氮氣流量、報警信息；重點關注：持續(xù)高濕、氮氣流量異常偏大、溫度波動大。 

六、報警與故障處理

出現報警先查看代碼：常見超溫報警、濕度超標、氣源低壓報警、開門超時報警。 

氣源低壓報警：先檢查氮氣瓶壓力、減壓閥；濕度長期下不去優(yōu)先排查門封漏氣、物料帶濕、濾網堵塞。 

嚴禁在未斷電、未關氣源情況下拆開電控箱、氣路組件；內部檢修由專業(yè)人員操作。 

七、節(jié)能要點（生產常用）

根據物料耐濕等級設定濕度，不必一味追求極低濕度，減少氮氣損耗； 

啟用氮氣節(jié)能模式（PID 間歇充氣），避免持續(xù)大流量吹掃； 

夜間停產如無特殊保存要求，可適當放寬濕度閾值降低消耗。